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水處理設備在進行水處理的時候是可以很好的去除水中的一些雜質的,只不過很多人并不知道水處理設備到底可以去除水中的哪些雜質。
溶解的無機鹽:有鈉、鈣、鎂等鹽類,溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導體器件時,會使這些不純物擴散到集成電路表面,造成短路。過去除去水中無機鹽是將水蒸餾,但就是三次重蒸餾水,水的電阻率僅3兆歐—厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl。近有用反滲透法去離子。
所以要用離子交換樹脂。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分別使用,易于再生,混合床離子交換樹脂用在離子交換的終級,起把關的作用。這樣出來的水可達18兆歐—厘米(25攝氏度)。
溶解的有機物:有工業排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹脂之前,因活性炭本身會帶來雜質。需要注意,進入樹脂床的水要先除去有機物,因為離子交換樹脂易為有機物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機物,分子量小于300的有機物可除去百分之九十。
粒子物質:很多地方都容易產生,如炭床、樹脂床、深層過濾等一些設備。雖然用一些方法使達到高電阻率,但沒有有效地除去粒子物質。這就會使半導體器件出現針孔、短路、斷路、內部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。
除去粒子物質,只有用膜濾,一般標準用孔徑為0。45微米的微孔濾膜,特殊需要用孔徑為0。22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵、膠體硅和小細菌。反滲透設備也能除去小粒子。